高精密度的电子行业可以用微粒式干冰清洗机清洗吗?

高精密度的电子行业可以用微粒式干冰清洗机清洗吗?电子工业中的清洁效果直接影响光伏电池和集成电路的最终性能,效率和稳定性。由于硅材料的清洁度不足导致的问题频出,因此必须优化硅晶片的清洁工艺。

硅片可以用干冰清洗吗?

当温度超过31.1且压力达到时,CO2变为超临界状态,从而实现气固转化。通过喷嘴,二氧化碳突然从钢瓶中释放出来,压力下降,体积迅速膨胀。二氧化碳的气液混合物产生固态干冰颗粒,从而实现了硅片的清洁。干冰颗粒具有去除颗粒物和有机杂质的不同机制。

当去除颗粒杂质时,干冰颗粒与颗粒杂质发生弹性碰撞,导致动量传递,并且颗粒杂质被高速气流粉碎并去除。当除去有机杂质时,干冰颗粒与有机物质发生非弹性碰撞,干冰颗粒使硅片表面上的有机物质液化,包裹并硬化,并通过高速气流除去。

干冰清洗机技术是一种理想的清洁技术,研磨性非常低,它不会损坏硅晶片的表面并且不会污染环境。非常是个电子等精密仪器的清洗。

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